目前，先進化合物半導體以碳化硅、氮化鎵為代表，其應用已延伸至5G基建、新能源汽車等多個關鍵領域，迅速成為下一代半導體技術的戰略發展方向之一。在市場規模日漸擴大的情況下，先進化合物半導體微納制造技術不斷迭代更新，全球市場對ALD技術的需求也愈發顯著。

微導納米憑借豐富的自主研發經驗、先進的材料和工藝開發能力，其ALD設備在技術先進性及量產性能等方面均達到國際水平 ，贏得了客戶認可。此次微導納米創新開發的專用于微納制造的先進ALD裝備，具備傳統薄膜沉積技術難以企及的原子級厚度精準控制、優異的薄膜厚度均勻性以及高保形性等多項技術優勢，將加快先進微納器件制造所必需的材料和工藝的技術突破，助力全球化合物半導體產業技術的革新。