近日，微導納米先后中標2家頭部太陽能制造商的年產20GW TOPCon高效太陽能電池項目，截止目前，公司已斬獲Topcon等相關新型高效電池訂單近80GW。本次近3億元的光伏ALD設備大額重復訂單彰顯了客戶對公司產品的充分認可，也將進一步鞏固和深化微導納米與高效電池制造龍頭企業的業務合作。
夸父（KF）系列原子層沉積系統
此次銷售的夸父（KF）系列原子層沉積系統，是微導納米基于成功量產機型、原創設計的第五代產品，采用公司自主知識產權的反應腔體設計、先進的薄膜沉積和自動化集成技術，可為高效晶硅太陽能電池表面鈍化提供高質量、超薄鈍化膜的制備。其代表了光伏行業國產創新設備的先進技術，在提供超高產能的同時，最大程度地降低了設備的運營成本，為客戶提供了可靠的量產解決方案，引領行業TOPCon高效電池量產導入。
Smart AEP ? TOPCon整線工藝技術
更值得關注的是，微導納米最新研制的Smart AEP? TOPCon整線工藝技術，九大步驟、四大類設備，光電轉化效率已超25%，可提供全新的TOPCon整線工藝技術解決方案，打造業內領先的下一代高效電池生產線。在PERC電池背面及 TOPCon電池正面的氧化鋁和氮化硅疊層的制備中，公司全球首創高產能批量型ALD設備，搭載行業創新的PEALD二合一專利技術，能夠在同一臺設備中完成兩種薄膜的制備，除了能提高薄膜質量以提供更好的鈍化效果之外，還有效降低設備投資與生產成本，是PERC產線升級TOPCon技術的首選方案。
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