江蘇微導納米裝備科技有限公司

iTomic MW Lite批量輕型系列ALD鍍膜系統，設備以國產化零部件為主導，可滿足高端研發和新工藝試量產需求，尤其適用于，新型太陽能電池以及顯示行業應用。

1、采用最新自主設計開發的模塊化自動平臺與ALD反應腔；

2、實現可自由選擇的半自動或全自動ALD系統；

3、滿足各類晶圓尺寸（4、6英寸）的工藝需求，適用于客戶高端研發和新工藝開發；

4、4寸晶圓可實現單批次裝載450pcs；

5、薄膜均勻性優，可實現片內＜1.5%；

6、滿足供應鏈高比率國產化需求。