江蘇微導納米裝備科技有限公司

朱雀系列粉末原子層沉積系統，采用自主研發設計的反應器結構設計和先進的鍍膜沉積技術，為各種粒徑大小的微納粉體表面沉積多種材料，并實現極限保形和均勻的薄膜沉積效果。適用于粉末包覆改性的研發及中試量產，具有靈活和多功能等特點。  

1、 系統具備多種配置，可兼容流化、振動等功能，實現粉體材料的充分分散，提高粉末的包覆效率和鍍膜包覆性能，降低綜合成本；

2、 配備集成手套箱，，可用于濕度敏感材料的開發；

3、 可升級掛載多種化學源，可開發多種ALD材料，例如 TiO₂、 ZnO 、 SiO₂等；

4、 易于更換的料盒粉末過濾器，可減少粉末批次間的污染；

5、 用戶界面簡單明了，觸摸屏控制操作方便。